半导体工艺流程仿真 Silvaco TCAD 2012
Silvaco TCAD 套件被遍布全球的半导体厂家用于半导体器件和集成电路的研究和开发、测试和生产过程中。Virtual Wafer Fab是TCAD综合环境，Athena是专业的工艺仿真系统，Atla s器件仿真系统，Mercury是快速器件仿真系统。
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Silvaco 提供了 TCAD Driven CAD Environment ，这一套完整的工具使得物理半导体工艺可以给所有阶段的 IC 设计方法提供强大的动力：制程模拟和器件工艺； SPICE Model 的生成和开发； interconnect parasitics 的极其精确的描述； physically-based 可靠性建模以及传统的 CAD 。所有这些功能整合在统一的框架，提供了工程师在完 整的设计中任何阶段中所做更改导致的性能、可靠性等效果直接的反馈。
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Silvaco的TCAD 建模服务提供解决方案给那些有特别半导体器件建模需求而内部又没有时间和资源运行TCAD软件的客户。使用TCAD建模服务，可运用Silvaco在半导体物理和TCAD软件操作方面的专长，提供完全、快速和精确的即可使用的解决方案。
半导体工艺流程仿真 Silvaco TCAD 2012